真空阀是一种专门设计用于在真空系统中控制气体流动的阀门。真空系统通常指的是压力低于大气压的环境，这些系统广泛应用于半导体制造、光学薄膜沉积、真空冶金、科学研究以及其他需要高度清洁和控制的工业领域。
真空阀的主要特点要求如下：
低泄漏率：真空阀须具有极低的气体泄漏率，以保持真空系统的压力稳定。这意味着阀门的密封性能要非常高，通常使用金属密封或特殊橡胶密封。
清洁度：真空阀的材料和表面处理须非常干净，以防止释放出颗粒物或化学污染物，这些污染物可能会影响真空室内的精密工艺。
耐腐蚀性：由于真空环境中可能存在各种腐蚀性气体，真空阀的材料需要具有良好的耐腐蚀性。
低放气率：真空阀在制造过程中需要特别注意，以减少材料表面的放气，即材料在真空中释放吸附气体的能力。
机械强度：真空阀需要能够承受真空环境下的机械应力和热应力，特别是在高温或低温条件下。
驱动方式：真空阀可以采用手动操作，也可以配备电动、气动或电磁驱动装置，以实现远程控制或自动化操作。
尺寸和接口：真空阀的尺寸和接口需要根据真空系统的具体要求来设计，包括法兰连接、螺纹连接或卡箍连接等。
真空阀关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成。
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